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機器原子分析の原理と特徴 RBS (ラザフォード後方散乱) 分析原理 RBS分析とはRutherford Backscattering Spectrometry（ラザフォード後方散乱分析法）の略で、MeVオーダーのヘリウムイオンを固体表面に照射し、試料中の原子核との弾性散乱によ...