hamigakikoさんのタグ“四探針法”の資料 https://www.happycampus.co.jp/docs/983430942301@hc06/tags/%E5%9B%9B%E6%8E%A2%E9%87%9D%E6%B3%95/ hamigakikoさんのタグ“四探針法”の資料 ja-JP happycampus rss generator https://www.happycampus.co.jp cs@happycampus.co.jp cs@happycampus.co.jp Copyrightⓒ 2002-2026 AgentSoft Co., Ltd. All rights reserved <![CDATA[熱拡散による半導体pn接合の作製]]> Fri, 10 Feb 2006 18:28:45 +0900

1 目的 　本実験では，拡散によってSiウエハ表面へ不純物原子を導入することにより，pn接合を形成する．また，作製したウエハの抵抗や伝導型を調べる． 2 実験装置 　本実験で使用した装置などを次に示す． 管状電気炉， ガス，Siウエ]]>