フォトリソグラフィ

安定した時点でCrブランクスの回転中心付近にレジストを滴下した．レジストが広がったことを確認後，STOPを押して回転を停止させた．VACUUMをOFFにし，Crブランクスをはずした． 4.3 プリ・ベーク...

レポート 理工学 フォトリソグラフィ エッチング レジスト

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• 2006/02/10
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• hamigakiko