フォトリソグラフィ

，基板ウェハ上のデバイスへの他材料の任意形状での導入や微細な電極，配線の形成等が可能である．図2.1に，Siウェハを基板とした場合のフォトリソグラフィの標準的工程図を示す． ... 原理 フォトリソグラフィについ...

レポート 理工学 フォトリソグラフィ エッチング レジスト

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• 2006/02/10
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• hamigakiko