マイクロ加工に用いられる粒子の特徴と加工上の特徴

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    マイクロ加工に用いられる粒子を示し,それらの特徴と加工上の特徴を述べている

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    生産加工学 レポート課題
    1. マイクロ加工に用いられる粒子を示し,それらの特徴と加工上の特徴を述べよ.
    ■マイクロ加工に用いられる粒子
    マイクロ加工に用いられる粒子は,光,電子,イオン,が挙げられる.
    あらゆる物質を構成する元となる原子は,その物質固有の性質を有する最小単位であり,原子は原子核
    とその周りを回転するいくつかの電子群から成り立っている.
    原子になんらかの形でエネルギーを与えると,安定な状態にあった原子はそのエネルギーを吸収して,
    不安定ではあるが高いエネルギー状態になる.これを励起状態といい,低い準位に落ちていくときに光
    を放出する.
    原子内の電子のとりうるエネルギーは,不連続に変化するとびとびの値であるために,電子は核の周り
    に定常波を形成し,いつまでも安定に存在する.したがって電子がエネルギーを失うのは,ある定常波
    の状態から別の状態に移る場合だけであり,そのときに状態間のエネルギー差に相当する光(電磁波)
    が放出される.このとき放出されるのは光子である.
    電子が 1 個飛び去ると原子は+ e の電荷をもった粒子となる.このような荷電原子はイオンとよばれ
    る.
    ■粒..

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