真空蒸着と酸化<基礎物理学実験>

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    資料紹介

    基本的な物理学実験のレポートです。個別の採点は非公開ですが、このレポートを含めた全てのレポートに対する評価はA判定でした。実験系をWordの図形描画で描いているため、見にくい箇所もあるかと思いますが、予めご了承ください。
    私自身の文章能力についてはこちらのレポートを参考にして下さい。
    http://www.happycampus.co.jp/docs/961337781536@hc08/71470/

    資料の原本内容( この資料を購入すると、テキストデータがみえます。 )

    目的
     真空蒸着装置と酸化装置を自分たちで操作して、それらの原理を理解することを第一の目標とし、さらに生成された試料の特性を調べる。本実験では、真空蒸着装置を用いて錫(Sn)の蒸着を行う。酸化装置では、Sn薄膜を酸化する。このSnの酸化膜(SnO2)の光透過性(透過率)と電気伝導度を調べる。
    原理
    〔1〕真空蒸着装置
     蒸着とは、「勤続を沸点以上に加熱し、蒸発させ、これをほかの金属または非金属の表面に薄膜として接着させる」ことを言う。大気中でこれを行うと、大気中の分子と反応して予期しないトラブルが生じるので、一般には真空中で行う。したがって、真空蒸着装置は大きく分けて「真空槽(これをベルジャーという)を真空にする排気系」と「金属を蒸発するための加熱系」とからなっている。図1に装置の概略を示す。本装置の排気系はロータリーポンプと拡散ポンプで構成される。ロータリーポンプは大気から約1Paまでの排気に用いられ、拡散ポンプは約1Paから約1×10-4Paの範囲での排気に用いられる。ベルジャー内の圧力はピラニー真空計(大気から5Paの範囲)と電離真空計(0,1Paから約1×10-5Paの範囲)で..

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